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Modification de la sélectivité de couches minces de dioxyde d'étain par l'ajout de couches superficielles en vue de la réalisation de microcapteurs de gaz
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Sauvan, Muriel |
| Copyright Year | 1999 |
| Abstract | Ce travail concerne la modification de la selectivite de couches minces de dioxyde d'etain par l'ajout de couches superficielles en vue de la realisation de microcapteurs de gaz. Une partie de cette etude a ete consacree a la caracterisation des differentes couches, essentiellement par la diffraction des rayons X sous incidence rasante en raison des faibles epaisseurs etudiees. Les couches minces de dioxyde d'etain sont elaborees soit par evaporation reactive soit par un procede de depot chimique en phase vapeur (CVD). Quant aux couches superficielles, elles ont ete choisies soit pour leur action catalytique vis-a-vis de certains gaz (cas des couches de platine, de palladium ou de rhodium) soit pour leur pouvoir de filtration comme les couches de silice. Dans une seconde partie, les performances electriques des couches de dioxyde d'etain modifiees par les couches superficielles ont ete evaluees sur un banc de test. Il s'agit de suivre les variations de conductance sous gaz (ethanol, monoxyde de carbone, methane, oxydes d'azotes) en fonction de la temperature. Il a ete ainsi mis en evidence le role catalytique de certains materiaux, ce qui a permis d'obtenir des couches plus selectives pour un gaz donne. Enfin, cette etude a abouti a la realisation de microcapteurs de gaz dans lequel l'element sensible se trouve sous forme de couche mince. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00841174/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
