NDLI: Étude de la formation et du rôle des nanoparticules dans l'élaboration de couches minces d'oxyde d'étain par PECVD

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Étude de la formation et du rôle des nanoparticules dans l'élaboration de couches minces d'oxyde d'étain par PECVD

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Jubault, Marie
Copyright Year	2009
Abstract	Les couches minces d'oxyde d'etain sont largement utilisees dans differents domaines d'applications comme les electrodes transparentes, les detecteurs de gaz, ou encore les catalyseurs. Il a ete montre que la nanostructure des films permettait d'ameliorer sensiblement les proprietes optiques et electriques des couches minces de semiconducteurs. L'objectif principal de ce travail de these est de synthetiser des films minces de SnO2, en controlant leur nanostructure et leur composition. Lors de la croissance de couches minces dans notre systeme de depot chimique en phase vapeur assiste par plasma (PECVD), des poudres nanometriques, polymerisees en phase plasma, peuvent s'incorporer dans le film. Les proprietes electriques du plasma sont grandement affectees par la croissance de ces poudres, et il est ainsi possible de suivre leur evolution par des mesures de la tension d'autopolarisation (VDC) de l'electrode de tension. Dans un premier temps, nous avons etabli l'influence des parametres du procede sur l'evolution de la VDC, et relie ses variations a la granulometrie du film observe par microscopie electronique a balayage. Nous avons ensuite modifie les temps d'allumage et d'extinction du plasma, en faisant fonctionner notre generateur en mode pulse. Nous avons ainsi pu discuter differentes hypotheses sur les mecanismes de formations des poudres dans un plasma argon/oxygene/tetramethyletain. Un lien entre les conditions de modulation du plasma et la presence de nanocristallites incorporees au film d'oxyde d'etain a pu etre etabli.
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00464688/document
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article

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