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Élaboration et caractérisation de couches minces de dioxyde d'étain obtenues par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Relations entre propriétés structurales et électriques. Application à la détection des gaz.
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Bruno, Laurent |
| Copyright Year | 1994 |
| Abstract | Ce travail concerne l'elaboration de couches minces de dioxyde d'etain par un procede de depot chimique en phase vapeur (CVD), en vue de realiser l'element sensible pour des capteurs de gaz. Une partie de cette etude a ete consacree a la conception et a la realisation de l'installation de CVD, et les parametres de depot (temperature, pression, duree) ainsi que les conditions de recuit (temperature, duree) ont ete etudiees de maniere systematique afin d'obtenir les meilleures performances electriques du point de vue de la detection d'especes gazeuses. Une caracterisation detaillee de la microstructure et de la composition des couches de SnO2 a ete entreprise par differentes techniques d'analyse telles que la diffraction des rayons X sous incidence rasante, la microscopie electronique a balayage et en transmission, la reflectometrie X ou encore la spectroscopie ESCA. Il a ainsi ete possible, en ajustant les conditions de fabrication, de controler la texture du depot, les tailles de grains (50 a 300 A), de meme que la stœchiometrie. Les performances electriques des couches de SnO2 ont ete evaluees sur un banc de mesure. Il s'agit essentiellement de la conductivite sous air et de la sensibilite sous differents gaz tests (ethanol, methane, monoxyde de carbone). Les correlations ont pu etre etablies entre les conditions d'elaboration des couches, leurs proprietes structurales, et leurs performances electriques. Enfin, au niveau de l'interpretation des resultats, un modele granulaire a ete propose afin d'expliquer les tres grandes variations de conductivite et de sensibilite observees en fonction des conditions de fabrication des couches (epaisseur, temperature de depot, conditions de recuit). |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00843714/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
