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Elaboration de couches minces de dioxyde d'étain sensibles à l'action des gaz. Performances électriques et mécanismes réactionnels
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Breuil, Philippe |
| Copyright Year | 1989 |
| Abstract | Ce travail concerne l'elaboration par deux procedes differents puis l'etude de couches minces de dioxyde d'etain en vue de realiser des elements sensibles pour la detection des gaz. Le principe de tels detecteurs consiste a suivre les variations de conductivite electrique de ces produits lorsqu'un gaz s'adsorbe a leur surface et ceci en fonction de la temperature du detecteur. Le premier procede, le depot chimique en phase vapeur, permet d'obtenir des couches compactes performantes, mais des problemes lies a la reproductibilite des proprietes ainsi qu'a la selectivite n'ont pu etre resolus au cours de ce travail. Il a pu etre montre que le deuxieme procede, l'evaporation reactive, met en jeu, dans ce cas, une oxydation de l'etain suivie d'une sublimation de l'oxyde. Les couches obtenues peuvent avoir une tres faible densite ainsi que des textures tres particulieres. Elles sont, pour certaines conditions de depot, tres performantes au niveau sensibilite, selectivite et stabilite dans le temps. Des experiences de thermodesorption et de mesure de conductivite en montee en temperature ont permis, dans le cas des couches obtenues par evaporation reactive, de proposer un modele expliquant les proprietes electriques des couches en presence de certains gaz: l'augmentation de conductivite electrique observee alors semble provenir de la creation de porteurs libres de courte duree de vie lors de certaines reactions catalytiques ayant lieu a la surface du dioxyde d'etain. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00845136/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
