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Capteurs de gaz à base de nanofils verticaux et ordonnés de silicium
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Durand, Brieux Lecestre, Aurélie Mazenq, Laurent Ménini, Philippe Larrieu, Guilhem |
| Copyright Year | 2015 |
| Abstract | L'objectif de cette etude consiste a developper une nouvelle generation de capteurs de gaz ultra sensibles bases sur la nanostructuration du silicium sous forme de nanofils(NFs) verticaux de maniere controlee et reproductible par une approche « top-down ». Ces NFs sont contactes electriquement par un pont suspendu. Ainsi une large surface du NF est disponible, et peut reagir avec le gaz environnant. Cette approche permet de realiser des reseaux de NFs definis par photolithographie optique pour controler parfaitement leur nombre, leur espacement et leur position et obtenir ainsi des dispositifs reproductibles. Les capteurs ont ensuite ete caracterises electriquement et sous differentes ambiances gazeuses. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01216418/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |