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Fabrication et caractérisation électrique de résistances à base de nanofils de silicium
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Pichon, Laurent Demami, Fouad Rogel, R. Mohammed-Brahim, Tayeb |
| Copyright Year | 2011 |
| Abstract | Cet article presente des travaux pratiques sur la realisation et la caracterisation electrique de resistances fabriquees a partir de nanofils de silicium polycristallin synthetises a partir d'outils lithographiques conventionnels de la technologie silicium. Les resistances sont fabriquees en salle blanche puis caracterisees electriquement par mesures I-V. |
| Starting Page | 11 |
| Ending Page | 11 |
| Page Count | 1 |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00671098/document |
| Alternate Webpage(s) | https://core.ac.uk/download/pdf/48225187.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |