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Microphone électrodynamique MEMS en technologie CMOS : étude, modélisation et réalisation
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Tounsi, Fares |
| Copyright Year | 2010 |
| Abstract | L'objectif de cette these est de concevoir et de realiser une nouvelle generation de microphone MEMS monolithique de type electrodynamique, a base de bobines spirales planaires, realisee en technologie standard completee par un post process de micro-usinage en volume par la face avant. Apres avoir decrire les differents procedes de fabrication des microsystemes compatibles microelectroniques et recapituler l'etat de l'art des differents principes de transduction des structures de microphones MEMS integres micro-usines. Une modelisation electromagnetique detaillee est realisee pour etudier le lien inductif entre les deux bobines, constituant le microphone, dans les differents modes de polarisation. Par la suite, une etude de la flexibilite et les constantes de raideur de la membrane suspendue a ete menee. Cette analyse mecanique a pour but de concevoir un systeme de membrane souple qui a permis de placer la frequence de resonance au milieu geometrique de la bande audible et d'avoir des amplitudes de deplacement suffisantes dans la plage lineaire. Ensuite, une modelisation electro-acoustique est necessaire pour proposer un modele theorique equivalent du microphone et evaluer sa sensibilite. Cette modelisation nous a permis de distinguer entre deux types de microphone {i} a conversion en deplacement et controle par compliance et {ii} a conversion en vitesse et controle par resistance. La derniere etape de cette these etait d'accomplir le dessin des masques et fabriquer le 1er prototype. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00482408/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
