NDLI: Conception, réalisation et test de déphaseurs micro-ondes intégrant une technologie MEMS :

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Conception, réalisation et test de déphaseurs micro-ondes intégrant une technologie MEMS :

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Maury, Fabien
Copyright Year	2009
Abstract	Les structures MEMS concernees par cette these sont des capacites commutees de type cantilever pouvant etre utilises pour une fonction de dephasage. L’un des enjeux de cette these est la tenue en puissance. En effet, soumis a des signaux de forte puissance, la bonne commutation des MEMS est entravee lorsque des phenomenes de defaillance tels que l’auto maintien et l’auto actionnement apparaissent. Ces phenomenes ont ete pris en compte pour etablir une methode de conception basee sur une approche analytique, permettant de dimensionner de facon optimale des capacites commutees MEMS. Des structures ont ainsi ete realisees en salle blanche pour valider ces calculs. Les mesures des tensions de relâchement de ces structures ont permis de constater une bonne tenue en puissance. Des capacites commutees MEMS ont ete implementees le long d’une ligne de transmission de maniere a constituer des cellules de dephasage. Les resultats prometteurs de ces dispositifs en terme de precision de phase et de tenue en puissance sont completes par des mesures effectuees pour determiner le temps de chargement du dielectrique avant defaillance. Un modele couplant mecanique et micro-ondes a ete utilise pour predire les erreurs de phase, qu’elles soient liees aux imperfections inherentes a la fabrication ou qu’elles soient engendrees dans le cas extreme de poutres defaillantes. Ce modele a aussi permis de calculer les intermodulations d’ordre 3 et laisse presager une excellente linearite des composants.
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	http://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/a298bdca-bc9a-4ed2-9213-856531f9aaf7/blobholder:0/2009LIMO4017.pdf
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article

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