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Conception, réalisation et commande d'un microrobot numérique, planaire, non-redondant et en technologie MEMS.
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Chalvet, Vincent |
| Copyright Year | 2013 |
| Abstract | Le developpement recent en micro- et nanotechnologies (dans des domaines tels que l’horlogerie,l’electronique, l’optique, le biomedical, . . .) a cree un fort besoin concernant des systemes capables de manipuler et d’assembler des objets de plus en plus petits. La conception de stations robotisees, capables de manipuler des micro-objets, s’est multipliee a travers le monde, faisant intervenir des actionneurs de haute resolution adaptes au micro monde, ainsi que de nombreux capteurs.Ce memoire ouvre une nouvelle voie pour le developpement de robots de micromanipulation. Il presente la conception, la modelisation, la fabrication et la commande d’un nouveau concept de micro robot, le DiMiBot (Digital MicroroBot). Il s’agit du premier micro robot numerique – inspire ´e de l’ ´electronique numerique – qui fait intervenir des actionneurs binaires pour generer un deplacement discret d’une grande precision sans necessiter de capteur (en boucle ouverte). Ces actionneurs binaires extremement repetables et robustes (les modules bistables), assurent chacun un deplacement precis de 25 μm. Ils sont associes de maniere monolithique a une architecture robotique parallele flexible, assurant la generation d’un espace de travail discret, dont les 2N (N est le nombre de modules bistables utilises au sein du DiMiBot) positions distincts atteignables sont parfaitement stables, repetables et robustes mecaniquement. Elles sont reparties de maniere homogene dans un carre de 10,5 μm de cote La micro fabrication du premier prototype de micro robot numerique en silicium – faisant suite `a un dimensionnement minutieux en element finis – a ete realise au sein de la salle blanche MIMENTO de l’institut FEMTO-ST. Ce DiMiBot possedant 4 modules bistables assure une resolution de 3,5 μm pour une repetable de chacune des 16 positions atteignables de 90 nm. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | http://indexation.univ-fcomte.fr/nuxeo/site/esupversions/4fcd61f8-2995-46dc-9a23-fcfa9ed686da |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00914595/document |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00913321/document |
| Alternate Webpage(s) | http://www.theses.fr/2013BESA2003.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
