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Procédé de dépôt de couches minces nanocomposites par décharge à barrière diélectrique : de l'aérosol d'une suspension colloïdale à la morphologie du dépôt
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Brunet, Paul |
| Copyright Year | 2017 |
| Abstract | Le developpement de procede evoluant a la pression atmospherique represente un enjeu majeur dans le depot de couches minces nanocomposites. Parmi ces procedes, les Decharges a Barrieres Dielectriques presentent l'avantage d'etre un procede vert sans effluent gazeux, pouvant facilement etre integrees dans une chaine de production industrielle. L'approche choisie pour la realisation de couches minces nanocomposites repose sur l'injection sous forme d'aerosol d'une suspension colloidale dans la DBD. Les nanoparticules semi-conductrices de TiO2 sont choisies et mise en suspension dans un alcool polymerisable tel que l'isopropanol. L’objectif de ce travail est de controler le transport des nanoparticules et la croissance de la matrice dans la DBD en vue de realiser une couche mince nanocomposite.Differentes methodes de formation de l'aerosol et de filtration sont evaluees, ainsi que differents gaz vecteur (Ar, N2). Dans tous les cas consideres, la decharge est filamentaire.L'estimation des valeurs des differentes forces s'exercant sur une nanoparticule dans une DBD confortee par un modele numerique a permis d'orienter les experimentations. Il est ainsi possible, a partir des parametres permettant de generer le plasma, d'influencer le depot des nanoparticules et la croissance de la matrice. Les depots obtenus sont analyses ex situ par microscopie electronique a balayage, spectroscopie infrarouge, Raman et a rayon X et in situ avec la diffusion laser.Dans le regime filamentaire considere, nous montrons que le flux de gaz et la frequence de la tension joue des roles preponderants sur le depot des couches minces nanocomposites. Cette etude a permis de mettre en evidence qu’une simple frequence n’est pas suffisante pour deposer la couche mince nanocomposite. Cependant l’utilisation d’une double frequence semble etre la meilleure approche pour separer le transport des nanoparticules de celui de la croissance de la matrice. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | http://espace.inrs.ca/6654/1/Brunet,%20Paul.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
