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Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Waldbaur, Ansgar |
| Copyright Year | 2013 |
| Abstract | In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden uber Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² grose Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanalen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Flache mit wenige µm grosen Pixeln erzeugt. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| DOI | 10.5445/KSP/1000036845 |
| Alternate Webpage(s) | https://publikationen.bibliothek.kit.edu/1000036845/2855494 |
| Alternate Webpage(s) | https://doi.org/10.5445/KSP%2F1000036845 |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |