NDLI: Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques à très forte constante diélectrique, BaTiO3, SrTiO3 et SrTiO3/BaTiO3 déposées par pulvérisation par faisceau d'ions

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Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques à très forte constante diélectrique, BaTiO3, SrTiO3 et SrTiO3/BaTiO3 déposées par pulvérisation par faisceau d'ions

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Guillan, Julie
Copyright Year	2005
Abstract	Dans l'optique d'une miniaturisation dans le secteur de la microelectronique et plus particulierement dans celui de la telephonie mobile, les materiaux perovskites a tres haute constante dielectrique sont des candidats interessants au remplacement des dielectriques actuellement utilises dans l'elaboration des capacites Metal/Isolant/Metal (MIM). Ce travail est consacre a l'elaboration et a la caracterisation de couches minces de titanate de strontium (SrTiO3) et de titanate de baryum (BaTiO3) deposees par pulverisation par faisceau d'ions (IBS) dans des structures capacitives MIM Pt/dielectrique/Pt. Une optimisation des depots a l'aide de plans d'experiences a ete realisee afin d'obtenir la constante dielectrique la plus elevee et ce, pour des temperatures d'elaboration les plus faibles possibles en vue de l'integration des structures MIM sur les circuits integres. Des analyses d'EXAFS, de XRR et d'AFM TUNA nous ont permis de comprendre l'influence de la microstructure des materiaux (taille de grain) et de la technologie d'elaboration des capacites (epaisseur de dielectrique, procede de gravure de l'electrode superieure et nature des electrodes) sur les proprietes des capacites MIM. Une etude des multicouches SrTiO3/BaTiO3 a egalement ete menee dans le but d'observer l'influence de la periodicite des empilements sur leurs proprietes electriques (constante dielectrique, linearite en tension).
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/file/index/docid/141132/filename/Manuscrit_final_J_Guillan.pdf
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00141132/document
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article

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