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Etude et conception de microsystèmes micro-usinés par la face avant en utilisant des technologies standards des circuits intégrés sur arséniure de gallium
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Ribas, Renato P. |
| Copyright Year | 1998 |
| Abstract | L'interet et le developpement des microsystemes aujourd'hui sont bases sur les memes principes qui ont fait le succes des circuits integres. Comme dans la microelectronique, le silicium est le materiau le plus utilise parmi les microsystemes. Malgre cette hegemonie, il existe d'autres alternatives pour les applications ou le silicium n'est pas tres performant. L'arseniure de gallium (AsGa) se montre prometteur car des effets comme la piezoelectricite, la piezoresistivite et l'emission de rayonnement lumineux peuvent efficacement etre exploites. La fabrication des microstructures suspendues (mecaniques) compatibles avec des technologies standards des circuits integres en AsGa est presentee dans cette these. Ces microstructures sont obtenues a travers le microusinage en volume par la face avant et ne demandent aucune modification du procede si ce n'est une etape postprocess de gravure destinee a liberer les structures devant etre suspendues. Ce principe permet la fabrication collective en grandes quantites et a bas cout puisque s'inserant dans une filiere industrielle stabilisee. Dans ce travail, plusieurs solutions de gravure ont ete etudiees et caracterisees. Les vitesses de gravure et les eventuels degâts dans les couches dielectriques et de metallisation des plots ont ete verifies. A partir de ces resultats, deux applications potentielles pour les microsystemes en AsGa ont ete considerees : les composants thermiques qui tirent parti du coefficient Seebeck de l'AsGa et de l'isolation thermique des structures suspendues, et les composants electroniques passifs microusines pour les circuits microondes, comme les lignes microrubans et les inductances planaires. Finalement, un ensemble d'outils de CAO pour les microsystemes a ete developpe. Des modules specifiques ont ete assembles a l'environnement Mentor Graphics, comme par exemple la verification des regles de dessins pour les microsystemes, des outils pour la visualisation du layout en coupe et en trois dimensions, et des simulateurs de gravure. Mots cles microsystemes, arseniure de gallium, microusinage, thermocouple, inductance planaire, outils de CAO. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00002987/document |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/file/index/docid/45412/filename/tel-00002987.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
