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Contribution à la modélisation et à la commande des microsystèmes capteurs non linéaires
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Soen, Jonathan |
| Copyright Year | 2007 |
| Abstract | Les microsystemes sont des systemes dynamiques multi-physiques. Leurs caracteristiques specifiques, liees a leur petite dimension et aux phenomenes associes, necessitent des etudes approfondies. Les methodologies de l'automatique peuvent apporter des solutions nouvelles pour l'optimisation de ces systemes. Dans ce contexte, ce travail de recherche s'interesse plus particulierement aux nonlinearites dans les microsystemes capteurs. La premiere partie de cette these est consacree a la conception d'un micro-accelerometre asservi a sortie numerique. L'objectif principal de l'asservissement est l'amelioration de la linearite de la mesure. L'etude s'attache a la modelisation du comportement dynamique du capteur en prenant en compte l'effet des non-linearites (lecture capacitive et actionnement electrostatique) et a l'analyse des performances globales de la mesure (aspect dynamique, transfert de bruit et non-linearite). Le circuit realisant l'asservissement est concu de maniere a permettre l'utilisation d'outils de l'automatique avancee : l'identification pour la commande et la synthese robuste de correcteur. L'architecture presentee est validee en simulation et sur un d´emonstrateur. Dans une deuxieme partie, ce travail de recherche propose d'exploiter la non-linearite dite de Duffing afin de realiser un principe de detection original. Cette non-linearite d'origine mecanique est frequemment rencontree dans les microsystemes. Les resultats presentes ouvrent des perspectives nouvelles pour l'utilisation de structures mecaniques de dimensions nanometriques. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00212256/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
