NDLI: Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces

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Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Tricot, Sylvain
Copyright Year	2008
Abstract	Les methodes de croissance de couches minces dites « pulsees » presentent certaines specificites, notamment la presence d'especes tres energetiques venant se deposer a la surface du substrat. L'ablation laser (PLD) est a ce jour la technique pulsee la plus connue et permet de former des couches minces de composes complexes, et d'oxydes particulierement. Mais la methode atteint ses limites dans le cas de cibles de materiaux peu absorbants a la longueur d'onde laser comme les semi-conducteurs a large bande interdite. L'ablation par faisceau pulse d'electrons (PED) est une technique de croissance encore peu connue et tres similaire a la PLD. L'objectif de ce travail est de maitriser les parametres de la PED pour obtenir des couches minces presentant un interet pour des applications en microelectronique. Chaque etape du processus de depot a fait l'objet d'une etude et d'une comparaison avec la PLD. La modelisation de l'interaction electron-matiere a permis d'obtenir l'evolution de la temperature de la cible soumise au bombardement par les electrons. Le plasma d'ablation a ete etudie en detail grâce a la spectroscopie d'emission optique et a l'imagerie rapide afin notamment de connaitre l'energie des especes du plasma. Le materiau choisi pour ce travail est l'oxyde de zinc (ZnO). Des films minces de ZnO ont ete formes par PED et l'etude montre que ces couches sont de bonne composition chimique et que la qualite cristalline des couches est equivalente aux films formes par PLD nanoseconde. Ces couches sont transparentes a plus de 80% dans le visible et assez conductrices pour imaginer des applications en tant qu'oxyde transparent conducteurs par exemple.
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/file/index/docid/345595/filename/ThesisTRICOT.pdf
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00345595/document
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article

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