Loading...
Please wait, while we are loading the content...
Similar Documents
Développement d'empilements métalo-diélectriques pour des applications optiques : conception, réalisation et caractérisation
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Démarest, Nathalie |
| Copyright Year | 2013 |
| Abstract | Les travaux de cette these concernent l'etude de l'influence des conditions de depot sur la microstructure et les proprietes optiques de monocouches dans le but de realiser des filtres optiques particuliers commercialisables. La methode de depot utilisee est l'evaporation par canon a electrons avec assistance ionique. L'un des deux projets a ete de verifier la faisabilite de filtres optiques infrarouges dans la gamme [2-15] µm avec des materiaux non toxiques. Les monocouches des trois fluorures etudiees ont montre des comportements differents suivant les conditions de depot, notamment suivant la temperature du substrat qui influe fortement sur leur microstructure. L'association du BaF₂ au germanium, avec des reglages optimises, montre pour differents filtres realises des resultats proches de la theorie. Ces filtres sont donc commercialisables. Le second projet a ete de developper une machine de depot dans le but de pouvoir realiser des filtres complexes d'une centaine de couches d'epaisseur variable (de 15 a 300 nm) associant des monocouches de TiO₂ a des monocouches de SiO₂. L'etude de l'influence des parametres de depots (pression, assistance ionique, prechauffage du materiau) au travers differentes caracterisations (MEB, AFM, ellipsometrie) a permis une optimisation des reglages de l'enceinte de depot plus efficace et adaptee en fonction des specifications des filtres optiques a realiser. Puis, une etude ellipsometrique poussee de l'indice de refraction des monocouches de TiO₂ en fonction de leur epaisseur a conduit a une nette evolution des resultats pour la realisation du filtre complexe. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00992394/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |