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Etude des contraintes et des déformations au cours de la croissance de couches métalliques ; analyse de la structure et du profil de composition aux interfaces par diffusion des rayons X : Thierry Bigault
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Bigault, Thierry |
| Copyright Year | 2001 |
| Abstract | Lors de la croissance de films metalliques d'epaisseur nanometrique, des contraintes importantes peuvent etre generees. Les mecanismes responsables de l'etablissement de ces contraintes et de leur relaxation sont encore mal connus. Notamment, la segregation des atomes du substrat vers la surface peut se produire au cours du depot, donnant lieu a un gradient de concentration a l'interface. Ce travail presente le developpement d'un appareillage permettant de determiner l'evolution des contraintes en mesurant la courbure de l'echantillon in situ; ainsi que la mise au point du depot d'une couche d'argent en epitaxie sur Si(111) permettant d'amorcer la croissance de multicouches metalliques. L'evolution des contraintes lors du depot d'argent, qui ne peut s'interpreter simplement en termes d'accommodation des parametres de maille, est confrontee aux analyses structurales du film. En completant la determination de courbure par des mesures de RHEED en cours de croissance, l'evolution des contraintes et des deformations dans des multicouches Cu-Ni(100) a ete etudiee. Malgre le faible desaccord de maille, une relaxation partielle se produit des le debut du depot. De plus, un melange a ete mis en evidence lors du depot de Ni sur Cu. Dans le cas de multicouches Au-Ni(111), qui presentent un plus grand desaccord de maille, une segregation dynamique se produit egalement lors du depot de Ni sur Au, malgre le caractere immiscible de Au et Ni a temperature ambiante. La comparaison des spectres de diffraction anomale des rayons X et de simulations numeriques montre qu'un gradient de composition (accompagne d'un gradient de distances interplanaires) s'etend sur 6 plans atomiques environ autour des interfaces Ni/Au, tandis que les interfaces Au/Ni sont abruptes. L'environnement local des atomes, et notamment la distribution des distances entre premiers voisins, a ete analyse dans ces multicouches par spectroscopie d'absorption X (EXAFS). |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00919097/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
