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Mesure de charges dans les matériaux semi-conducteurs et les métaux avec une méthode élasto-électrique
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Salame, Basil |
| Copyright Year | 2015 |
| Abstract | Les materiaux semi-conducteurs sont tres utilises, notamment dans le domaine de l'electronique. Pourtant leur fonctionnement intime reste mal connu du fait du manque de techniques de mesures directes de leur distributions de charges. Les distributions de charges, qui sont a la base des proprietes electriques du materiau, sont en effet encore determinees a l'aide de modeles et de mesures electriques globales ou destructives. Ainsi les nouveaux materiaux, sans modele eprouve, sont difficiles a analyser.L'utilisation d'un couplage elasto-electrique local (methode de l'onde de pression) permettrait de palier a ce probleme et ainsi de faciliter l'analyse des nouveaux materiaux pour la micro-electronique. Ce couplage agit en effet directement sur les charges a mesurer de maniere non destructive.Dans ce memoire de these le couplage elasto-electrique est modelise dans des structures a semi-conducteurs et des metaux. Le signal induit par la propagation d'une onde elastique est calcule analytiquement ou numeriquement selon la situation de la structure testee. Les resultats analytiques et numeriques sont valides par des mesures experimentatales avec la methode de l'onde de pression appliquee a differentes structures contenant des materiaux semi-conducteurs et des metaux en variant les parametres de mesure. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01206491/document |
| Alternate Webpage(s) | http://www.theses.fr/2015PA066160.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
