Loading...
Please wait, while we are loading the content...
Similar Documents
Conception et réalisation de cellules photoacoustiques miniaturisées pour la détection de traces de gaz
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Rouxel, Justin |
| Copyright Year | 2015 |
| Abstract | Les cellules photoacoustiques sont des capteurs optiques qui utilisent l'absorption des photons par des molecules de gaz pour generer une onde de pression proportionnelle a leur concentration. Le signal photoacoustique est egalement inversement proportionnel au volume de la cellule. La miniaturisation de la cuve permet donc l’amelioration des performances du capteur. Le travail de cette these consiste en la conception, la realisation et la caracterisation de cellules photoacoustiques resonantes differentielles d’Helmholtz (DHR) miniaturisees. Dans un premier temps, des simulations par la methode des elements finis de cellules a l'echelle millimetrique ont permis de montrer que la miniaturisation de ce type de resonateur est une voie prometteuse. Aussi, la realisation ambitieuse d’une cellule DHR sur silicium a ete engagee en utilisant les techniques de la microelectronique. Cependant, cette voie de miniaturisation extreme s'est heurtee a des difficultes de realisation, qui n'ont pas permis d'obtenir des dispositifs fonctionnels. Une alternative de miniaturisation, a l'echelle centimetrique, utilisant des microphones MEMS du commerce, a donc ete engagee. Trois cellules fabriquees par differentes methodes ont ete realisees et testees pour la detection de methane. La derniere generation a permis la detection d'environ 100 ppb de methane avec un laser a cascade interbande commercial a 3,357 µm de longueur d’onde. Pour preparer la prochaine generation de cellules, l'optimisation de la geometrie a ete effectuee par simulation. Cette optimisation permet d'envisager une augmentation de 43 % du signal par rapport a la cellule la plus performante. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://hal.archives-ouvertes.fr/tel-01526825/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
