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Contribution à l'étude de films ultra-minces de siliciures (Pd, Ni) : texture et propriétés mécaniques
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Fouet, Julie |
| Copyright Year | 2012 |
| Abstract | La reaction de films minces metalliques avec un substrat de silicium reste encore peu etudiee dans le domaine des tres faibles epaisseurs. Afin de suivre les cinetiques de reaction et l'evolution des contraintes lors de la formation d'une phase, des mesures de diffraction du rayonnement X synchrotron, et de courbure de substrat ont ete couplees. Le systeme Pd/Si constitue un systeme modele ; un siliciure unique se forme : Pd2Si. Les resultats obtenus prouvent que le modele de Zhang et d'Heurle permet d'expliquer l'evolution des contraintes resultant de la competition de deux mecanismes : le developpement de contraintes en compression du a la formation d'une nouvelle phase et la relaxation des contraintes du siliciure deja forme. Neanmoins, la microscopie electronique en transmission et les figures de pole revelent que la texture de cette phase change selon l'orientation du substrat. Sur Si(111), Pd2Si est en epitaxie alors que sur Si(001), la phase presente une texture qui evolue au cours du traitement thermique. Cette evolution serait activee par un mecanisme de fluage diffusionnel puis par de la deformation plastique. L'etude de films ultra-minces de Ni montre qu'il existe une epaisseur critique (<6 nm) en dessous de laquelle la sequence de phases et la texture des siliciures formes sont modifiees. Differentes techniques revelent qu'a partir de 200 °C, la phase NiSi croit sous la forme d'une couche homogene et continue. En augmentant la temperature, les phases NiSi et NiSi2 coexistent avec differentes morphologies : ilots penetrant dans le substrat ou bâtonnets. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00921219v1/document |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00921219v2/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
