Loading...
Please wait, while we are loading the content...
Similar Documents
Application de la microscopie à sonde locale à l'étude de la surface de GaN(0001)
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Vézian, S. |
| Copyright Year | 2000 |
| Abstract | Ce travail concerne la surface (0001) du nitrure de gallium (GaN) selon la polarite gallium. Cette orientation particuliere est en effet celle utilisee pour les applications technologiques recentes de ce semi-conducteur a grande bande interdite. L'etude experimentale de cette surface est principalement basee sur l'utilisation de deux types de microscopie a sondes locales : la microscopie a force atomique (AFM) et la microscopie a effet tunnel (STM). Le materiau GaN est obtenu par epitaxie sous jets moleculaires (EJM) essentiellement sur substrat Si(111). L'approche experimentale developpee s'appuie en particulier sur le couplage sous ultra-vide d'un reacteur EJM et d'un microscope STM. Le potentiel de cet ensemble experimental est illustre au chapitre 1 par l'obtention d'images en resolution atomique de surfaces de semi-conducteurs de reference tels que Si, SiC et GaAs. Les resultats experimentaux concernant la surface GaN(0001) sont presentes selon l'echelle d'observation : au dela du micrometre au chapitre 2, dans la gamme sub-micronique au chapitre 3 et finalement dans celle du nanometre au chapitre 4. L'etude par AFM ex situ de la morphologie de la surface a permis de mettre en evidence un phenomene de rugosite cinetique. L'utilisation de surfaces vicinales est proposee pour eliminer l'apparition d'une telle rugosite (chapitre 2). L'observation in situ par STM apporte des informations detaillees sur les marches presentes a la surface mais aussi sur la terminaison des dislocations a la surface et finalement sur l'interaction entre dislocations et marches (chapitre 3). La resolution atomique est obtenue pour deux reconstructions (2x2 et 4x4) correspondant a une terminaison Ga de la surface. Nous montrons que l'obtention de ces deux reconstructions est liee a la presence d'arsenic. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | http://www.crhea.cnrs.fr/fr/documents/Resumes/Theses/resume_these_sv.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |