Influencia del Flujo de Nitrógeno en la Estructura, Dureza y Resistividad de Recubrimientos de TiSiNO

Content Provider	Semantic Scholar
Author	García, Leandro Hernández, Julián Mendoza, Claudia O. Garnica, M. González
Copyright Year	2009
Abstract	Resumen Recubrimientos de TiSiNO fueron fabricados por la tecnica de erosion catodica reactiva por corriente directa sobre sustratos de acero y silicio, utilizando un blanco de Ti y una pequena placa de Si sobre una atmosfera reactiva de nitrogeno, oxigeno y argon. Usando el metodo de Warren-Averbach se analizaron los cambios estructurales de las muestras en funcion de la variacion del flujo de nitrogeno. Calculos estequiometricos, obtenidos de la tecnica de espectroscopia de energia dispersada y corroborados por espectroscopia de descarga luminiscente, muestran que los recubrimientos se encuentran en la region de solucion solida de TiSi x N(O y ) y SiN x O y , dominando la fase del oxinitruro de titanio. La muestra fabricada sobre sustratos de acero y silicio a un flujo de nitrogeno de 3 sscm, presento el valor de dureza mas alto y el valor de resistividad mas bajo, respectivamente, debido a su estructura, orientacion cristalina preferencial y fases cristalinas presentes en ella. Palabras clave
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Page Count	8
File Format	PDF HTM / HTML
DOI	10.4067/S0718-07642009000100004
Volume Number	20
Alternate Webpage(s)	https://scielo.conicyt.cl/pdf/infotec/v20n1/art04.pdf
Alternate Webpage(s)	https://doi.org/10.4067/S0718-07642009000100004
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article