Elaboration de super-réseaux de boîtes quantiques à base de SiGe et développement de dispositifs pour l'étude de leurs propriétés thermoélectriques

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Hauser, David L.
Copyright Year	2011
Abstract	L'utilisation de dispositifs thermoelectriques a base de films minces en SiGe est envisagee dans de nombreuses applications comme la micro-generation de puissance ou le refroidissement localise de composants microelectroniques. Le SiGe possede en effet un net avantage en terme d'integrabilite mais souffre cependant d'un deficit en terme de performances. Dans le cadre de cette these, nous nous sommes interesses a la nanostructuration de ce materiau en super-reseau de boites quantiques (SRBQ), celle-ci devant permettre une forte augmentation de son facteur de merite, rendue possible par une forte alteration du transport thermique a l'echelle nanometrique. La realisation, par un outil CVD de type industriel, a 750 °C, de SRBQ monocristallins lourdement dopes est presentee a partir d'analyses morphologiques (AFM), structurales (MEB, MET) et chimiques (SIMS). Des phenomenes de forts echanges Si-Ge pendant la croissance sont notamment mis en evidence et correles avec des mesures de conductivite thermique qui ne demontrent pas un effet significatif des boites sur le transport thermique. L'elaboration de structures polycristallines originales est egalement presentee. Enfin, la question cruciale de la determination du facteur de merite est abordee, notamment concernant les problemes d'incertitudes de mesure. Une
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	http://www.theses.fr/2011GRENT004/document
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00579524/document
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article