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Développement d’architectures de filtres à base de résonateurs à ondes acoustiques de volume et contribution à l’intégration dans une technologie avancée silicium industrielle pour des applications radio-fréquences :
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Tilhac, Cyrille |
| Copyright Year | 2007 |
| Abstract | Pour des raisons de cout, de consommation et de volume, l'integration complete des systemes de communication apparait comme un sujet porteur pour l'industrie de la microelectronique. C'est pourquoi, de nouveaux resonateurs a ondes acoustiques de volume (BAW) se developpent. Un des avantages de ces resonateurs est la possibilite de les integrer dans un systeme complet sur substrat silicium pour des applications de type filtrage. En revanche, il existe des variations dans le procede de fabrication qui font que les epaisseurs des materiaux deposes fluctuent legerement. Cela impacte directement la frequence de resonance des resonateurs et il convient de palier a ces variations si on souhaite realiser un systeme integre. Le sujet de travail de cette these s'inscrit dans le cadre de cette reflexion et porte sur l'etude et la realisation de nouvelles architectures de filtres permettant l'utilisation de resonateurs BAW accordables en frequence. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | http://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/80d92337-b229-40e2-a75a-1b8eb28464c8/blobholder:0/2007LIMO4012.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
