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Conception, caractérisation et modélisation : fiabilité prédictive de MEMS à actionnement électrothermique
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Muratet, Sylvaine |
| Copyright Year | 2005 |
| Abstract | Afin de contribuer a etendre le champ d'applications des microsystemes a des nouvelles applications a haute valeur ajoutee mais faible serie, il apparait necessaire d'estimer et d'analyser la fiabilite d'un microsysteme en prenant en compte les conditions d'utilisation. C'est pour repondre a cette problematique que les travaux de cette these ont ete realises en vue de mettre en place une methodologie d'etude de la fiabilite des microsystemes par le biais de la modelisation. En effet, en realisant un prototype virtuel complet d'un microsysteme, on peut non seulement predire son comportement dans n'importe quelles conditions environnementales d'utilisation mais aussi l'optimiser avant de lancer sa fabrication. Pour demontrer la faisabilite de cette methode, les travaux ont ete menes sur les actionneurs electrothermiques. Pour cela, nous avons (1) mis en place un modele analytique du comportement ideal de la structure en utilisant la methode des elements finis mais surtout le langage VHDL-AMS, (2) fabrique et caracterise des vehicules de tests pour valider ce modele, (3) realise des tests de vieillissement pour mettre en evidence les mecanismes de defaillance et enfin (4) avons mis en place des modeles empiriques de ce vieillissement pour completer la description analytique. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011349/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
