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Expansion of Dynamic Range on Shack-Hartmann Wavefront Sensor Using Phase Microhologram Array
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Saita, Yusuke |
| Copyright Year | 2014 |
| Abstract | Shack-Hartmann波面センサー (SHWFS)は,天文 や医療などの分野においては波面の乱れを補償する ため,工業分野においては光学部品の製品検査など のために広く用いられている.SHWFS はマイクロ レンズアレイと撮像素子を組み合わせた単純な構造 であり,測定の際に光波の干渉を用いないため振動な どの外乱に強い波面計測装置である.また,物理的 なマイクロレンズアレイではなく,位相型空間光変調 器により生成されたマイクロレンズアレイの位相分 布パターンを用いた SHWFS も提案されている [1]. 従来の SHWFS ではダイナミックレンジを超える傾 きの波面は正確に計測することができなかった.時 間的に変動する波面計測においては,フレーム間で スポット像を追跡することにより動的にダイナミッ クレンジを拡大する手法 [2]が提案されているが,こ れは時間的な変動がなく収差の大きな波面の測定に は効果がない.そこで本研究では,位相型ホログラ ムを SHWFS に適用することにより,波面計測のダ イナミックレンジを拡大する手法を提案する.これ は静的な波面計測においても適用可能である. SHWFS の概念図を Fig. 1 に示す.SHWFS のマ イクロレンズアレイに被測定波面が入射すると,撮 像素子面では各マイクロレンズに入射した波面の傾 きに応じてスポット像が変動したスポット画像が得 られる.この基準となる位置からの各スポット像の 重心変位量から各マイクロレンズに入射した局所波 面の平均位相勾配を算出できる.しかし,スポット 像が各マイクロレンズに割り当てられた撮像素子の 検出域内に収まらない場合は,その箇所の測定結果 に誤りが生じてしまう.検出域を隣接した領域にま で拡張することにより対応が可能であるが,同一の 検出域内に 2 つ以上のスポット像が存在する場合に 区別がつかなくなるという問題が生じる. ある検出域で得られる像が他の検出域,特に隣接 |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://confit.atlas.jp/guide/event-img/jsap2014s/18p-PA2-10/public/pdf?type=in |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |