Caractérisation de défauts latents dans les circuits intégrés soumis à des décharges électrostatiques

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Guitard, Nicolas
Copyright Year	2006
Abstract	Les agressions electriques, du type decharges electrostatiques (ESD) et surcharges electriques (EOS), sont a l'origine de plus de 50% des defaillances des circuits integres. De plus, avec l'avenement des technologies sans fil et des applications dites "plus electriques" en automobile et dans l'aviation, les specifications de robustesse a ces agressions se sont considerablement durcies. Dans le meme temps, la reduction des dimensions et la complexite croissante des technologies pose le probleme de leur susceptibilite a ces contraintes EOS/ESD et de la probabilite non negligeable de generation de defauts latents. Enfin, les niveaux de fiabilite exiges maintenant dans la plupart des applications sont extremement eleves. Afin de repondre a ces nouvelles exigences, la detection des defauts latents est devenue indispensable, notamment pour des applications comme celles du domaine spatial. Or, la diminution des dimensions lithographiques a pour consequence une augmentation des courants de repos des circuits microelectroniques. Cette augmentation rend difficile voire impossible la detection de defauts latents susceptibles de " de-fiabiliser " des systemes microelectroniques. Nous avons, dans cette these, etudie l'impact de defauts latents induits par stress ESD de type CDM sur la fiabilite de circuits et propose une nouvelle methodologie pour leur detection. Issue du domaine des radio frequences, cette methodologie basee sur des mesures du bruit basse frequence nous a permis de mettre en evidence, avec une meilleure sensibilite, des defauts latents dans de simples structures de protections ESD mais aussi dans des circuits commerciaux complexes soumis a des decharges de type CDM. Differentes techniques de localisation par stimulation laser ont ete mises en oeuvre pour la detection physique des defauts generes et corroborer l'analyse des mecanismes physiques a l'origine de l'augmentation du bruit.
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00139542/document
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article