Loading...
Please wait, while we are loading the content...
High-Speed Operation of Si Single Microring Resonator-Loaded Mach–Zehnder Modulator
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Takazawa, Hiroki Honma, Hiroyuki Arakawa, Taro Kokubun, Yasuo |
| Copyright Year | 2017 |
| Abstract | 【特性評価】IME の CMOS コンパチブルプロセスに より MRR-MZM を作製し,その特性評価を行った. MRR-MZM の上面からの光学顕微鏡像を Fig. 2 に示す. シリコン MRR は,周回長を 129.2 μm で設計し,共 振波長間隔(FSR)は設計値 4.24 nm に対して 4.79 nm となった.MRR-アーム光波路間の結合係数 K は 0.1 (設計値)で,測定された MRR の Q 値は約 10,000, 共振波長シフト量は 12.8 pm/V であった.波長 λ=1541.73 nm における MRR-MZM を用いた静特性の 測定結果を Fig. 3 に示す.消光比は 19.3 dB が得られ, 等分岐比の MMI カプラを用いた場合[3]に比べて非対 称分岐 DC による 7.8 dB の消光比向上を確認した.ま た,このデバイスと同じ設計パラメータを有する別の MRR-MZM の高速変調測定を行った結果を Fig. 4 に示 す.λ=1545.76 nm 変調速度 30 Gbps,駆動電圧 Vpp=5 V, バイアス電圧 VDC=2.6 V においてアイ開口を確認した. 謝辞 素子の高周波特性測定にご協力いただいた横浜国 立大学・馬場俊彦教授,雛倉陽介氏に感謝する.本研 究の一部は,科研費・基盤研究(B) (15H03577)および フジクラ財団の補助を受けた. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://confit.atlas.jp/guide/event-img/jsap2017s/17p-F204-6/public/pdf?type=in |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |