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Conception et réalisation de microsystèmes optiques (MOEMS) en polymère pour l'optique adaptative intégrée sur diodes laser verticales (VCSELs)
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Abada, Sami |
| Copyright Year | 2015 |
| Abstract | Ces travaux de these portent sur la conception, la realisation et d'une nouvelle generation de MOEMS (Micro-Optical-Electrical-Mechanical System) pour le controle actif du faisceau laser emis par des matrices de VCSELs (Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers). Le microsysteme a base de polymeres que nous avons concu est compatible avec une integration monolithique en post-processing. Il est compose d'une membrane suspendue associee a une microlentille refractive. Le plan de focalisation est controle dynamiquement grâce au deplacement vertical de la membrane grâce a un actionnement electrothermique. La geometrie du MOEMS a ete optimisee a l'aide notamment de simulations electro-thermo-mecaniques pour minimiser l'energie de commande et fiabiliser les dispositifs. Nous avons ensuite developpe l'ensemble des briques technologiques pour la fabrication collective de ce dispositif sur des matrices de VCSELs. En particulier, une technique originale de transfert thermique doux de films secs photosensibles epais a ete mise au point au moyen d'un equipement de nano-impression, pour permettre un depot uniforme et precis sur des substrats fragiles ou de faible taille. En outre, nous avons developpe un procede simple et totalement planaire pour la fabrication du MOEMS et optimise un procede de depot par jets d'encre pour l'integration finale des microlentilles, avec la possibilite de choisir la distance focale la plus adaptee a la fin du process. La caracterisation des microsystemes que nous avons realises a conduit a l'obtention de deplacements mecaniques de 8µm pour seulement 12.5mW appliques, ce qui constitue une validation de nos resultats de modelisation. Enfin, des premiers resultats de focalisation dynamique du faisceau VCSELs sont presentes. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01630568/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
