Etude théorique et expérimentale des techniques d’assemblage et de mise en boîtier pour l’intégration de microsystèmes radio-fréquences

Content Provider	Semantic Scholar
Author	Peyrou, D.
Copyright Year	2006
Abstract	Les Micro Systemes Electro Mecaniques Radio-Frequences (MEMS RF) bouleversent le paysage de la microelectronique, en laissant entrevoir des possibilites vertigineuses : exceptionnelles performances hyperfrequences, grande linearite et faible consommation. Malgre ces avantages indeniables, la mise sur le marche de composants a base de MEMS RF est freinee par leurs manques de maturites au niveau du flot de conception, de la mise en boitier (packaging) et de la fiabilite. Dans ce contexte, ces travaux de these ont porte sur l’etude theorique et experimentale des techniques d’assemblage et de mise en boitier pour l’integration de micro-commutateurs RF operant en bande X (10 GHz). Apres une description des techniques de mise en boitier suivie d’une analyse fonctionnelle, nous mettons en evidence une solution d’assemblage par report d’un capot avec un scellement en polymere. Afin de repondre aux enjeux de conception, nous avons identifie un besoin de modelisation a partir de logiciels de simulation elements finis (EF) multi-physique, permettant de generer des macro-modeles comportementaux. Ainsi, nous discutons des possibilites offertes par deux logiciels EF reellement multi-physique : ANSYS et COMSOL. Finalement, nous proposons une solution (boitier micro-usine en Foturan et scellement en polymere BCB) compatible avec les possibilites technologiques, les contraintes dimensionnelles en terme d’encombrement, le respect des performances RF et la resistance mecanique. Cette solution a debouchee sur la realisation et la caracterisation electrique d’un demonstrateur, montrant une tres faible attenuation generee par le packaging, moins de 0. 05 dB de pertes a 10 GHz. De ce fait, nous avons pu valider une technique simple de packaging quasi-hermetique, adaptee au micro-commutateurs RF.
File Format	PDF HTM / HTML
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/file/index/docid/129546/filename/These_final_12_12_06_recto_verso.pdf
Alternate Webpage(s)	https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00129546/document
Language	English
Access Restriction	Open
Content Type	Text
Resource Type	Article