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Elaboration de couches épaisses piézoélectriques déposées sur substrats pour des applications microtechniques
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Dren, Sarah Le |
| Copyright Year | 2000 |
| Abstract | L'objectif de ce travail est d'elaborer des couches epaisses piezoelectriques de PZT (Pb(ZrTi)O3) sur substrat (alumine et silicium). Ces films sont susceptibles d'etre integres dans des microsystemes a la place des ceramiques massives amincies. La technique de depot choisie est la serigraphie pour sa simplicite et parcequ'elle est deja maitrisee dans l'industrie. Chaque etape de la fabrication des films epais est d'abord detaillee dans l'etude bibliographique. L'etude experimentale repose sur l'optimisation : de la technique de depot ; de la formulation des pâtes d'impression (etude des parametres dont depend l'encre) ; des traitements thermiques (sechage, deliantage, frittage). Apres polarisation, les performances des films epais et des ceramiques massives sont comparees pour quatre compositions de PZT. A partir des resultats experimentaux, deux hypotheses sont avancees pour expliquer les faibles caracteristiques des couches par rapport a celles des ceramiques massives : la porosite importante des films ; le "clampage" des couches sur le substrat. Divers modeles ont ensuite ete proposes pour justifier les differences relevees entre les proprietes respectivement obtenues par les deux structures. Une autre etude experimentale est consacree a l'amelioration de la densite des couches en comparant diverses techniques de frittage : frittage rapide, frittage conventionnel sous atmosphere de PbO, frittage en four tubulaire, frittage RTA. Dans le but d'abaisser la temperature de frittage tout en ameliorant le sproprietes des films epais, l'influence de divers fondants est etudiee : le melange eutectique PbO-PbF2 donne des resultats interessants pour toutes les compositions de poudre testees. La caracterisation frequentielle des couches est effectuee : a basse frequence en analysant la vibration d'une poutre encastree et en la modelisant ; a haute frequence grâce au developpement d'un modele a trois couches. L'etude de faisabilite de transformateurs piezoelectriques et d'un filtre a ondes de surface a egalement ete effectuee, justifiant ainsi l'interet des couches epaisses piezoelectriques dans des applications microtechniques. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | http://theses.insa-lyon.fr/publication/2000ISAL0063/these.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
