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ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES PYROELECTRIQUES DE LiTaO3 PAR PULVERISATION CATHODIQUE RF MAGNETRON POUR DES APPLICATIONS DETECTEURS IR
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | Nougaret, Laurianne |
| Copyright Year | 2007 |
| Abstract | Cette these decrit les differentes etapes necessaires a la realisation d'un detecteur IR pyroelectrique en couches minces de LiTaO3, depuis l'etude materiau aux procedes de la microelectronique. Le premier chapitre reprend le principe de l'effet pyroelectrique dans les detecteurs IR. Les proprietes physiques et chimiques du cristal de LiTaO3 sont donnees dans le second chapitre. Le troisieme chapitre fait l'inventaire des outils et des techniques de depots utilises pour realiser l'empilement de base du detecteur IR (contact avant/ couche pyroelectrique / contact arriere). Les chapitres suivants sont consacres aux resultats experimentaux. Le quatrieme et le cinquieme chapitres presentent respectivement l'etude materiau des couches minces de dioxyde de ruthenium qui servent de contact arriere et l'etude materiau des couches minces pyroelectriques de LiTaO3. La pulverisation cathodique RF et la pulverisation cathodique RF magnetron sont les deux methodes de depot utilisees. L'electrode superieure est deposee par evaporation thermique pour les plots d'aluminium ou par pulverisation cathodique RF pour les pistes en NiCr. Les caracterisations dielectriques presentees dans le sixieme chapitre ont montre que la presence d'une couche d'accroche de Ru a l'interface substrat electrode enterree diminue de moitie les pertes dans le dielectrique. Ces caracterisations ont egalement permis de mettre en evidence l'influence des conditions de depot des couches de LiTaO3 sur leurs proprietes dielectriques. Ces tendances sont confortees par les resultats obtenus par des mesures du coefficient pyroelectrique presentees dans le septieme chapitre. Ce chapitre met en avant le role du contact arriere quant a la presence de charges parasites pouvant se superposer a l'effet pyroelectrique permanent. Pour une cible enrichie en Li, les couches peuvent presenter des coefficients pyroelectriques de 55 µC/cm2K (180 µC/cm2K pour le cristal massif de LiTaO3). Le dernier chapitre est consacre a la realisation du detecteur pyroelectrique IR (micro-usinage, electronique associee) et a sa reponse en courant. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00327688/document |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00327688/file/NOUGARET2007.pdf |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
