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Croissance guidée et caractérisations de nanofils de silicium latéralement organisés dans une matrice d'alumine nanoporeuse
| Content Provider | Semantic Scholar |
|---|---|
| Author | David, Thomas |
| Copyright Year | 2008 |
| Abstract | Nous presentons dans ce manuscrit le travail visant a faire croitre des nanofils de silicium dans une matrice d'alumine nanoporeuse par la methode VLS. Nous avons developpe un procede de realisation d'alumine nanoporeuse sur silicium. Celui-ci permet maintenant de controler les proprietes geometriques de l'alumine fabriquee (diametre des pores, periode, epaisseur de la couche). L'organisation laterale est tres bonne meme s'il est envisageable de l'ameliorer. Nous avons aussi etudie differentes methodes pour deposer de l'or au fond des pores ainsi obtenus. Les avantages et les inconvenients de chacune des methodes ont ete detailles et nous avons pu ainsi repondre au besoin de depart (l'obtention de catalyseurs d'or). Ces methodes de depot sont utilisables sur substrat massif et presentent des avantages interessants en termes de souplesse et de simplicite d'utilisation notamment. Enfin, nous avons fait croitre avec succes des nanofils sur substrat massif et dans les pores de l'alumine. Nous avons pu en etudier quelques caracteristiques, notamment structurales. L'utilisation de l'alumine pour positionner les nanofils est donc envisageable et l'effet de guidage des nanofils par les pores pendant la croissance a ete demontre. De plus, cet environnement confine ne fait pas augmenter significativement le nombre de defauts structuraux observes dans les nanofils compare a des nanofils crus sur substrat massif. Nous avons realise quelques mesures preliminaires des tendances que suit la conduction electrique dans les nanofils. La prise de contacts s'est revelee tres facile grâce a la geometrie d'encapsulation des nanofils dans les pores. |
| File Format | PDF HTM / HTML |
| Alternate Webpage(s) | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00343014/document |
| Language | English |
| Access Restriction | Open |
| Content Type | Text |
| Resource Type | Article |
